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MEMS光開(kāi)關(guān)培訓(xùn)班

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課程大綱：

1、MEMS光開(kāi)關(guān)的研究背景

2、MEMS以及MEMS光開(kāi)關(guān)的概念

概念

特點(diǎn)

3、MEMS光開(kāi)關(guān)的分類及原理

基本原理

基本組成

驅(qū)動(dòng)方式

平行板電容靜電驅(qū)動(dòng)

梳狀靜電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)

電磁驅(qū)動(dòng)

普通熱效應(yīng)驅(qū)動(dòng)

光開(kāi)關(guān)分類

基于傳統(tǒng)的機(jī)械式光開(kāi)關(guān)

電磁驅(qū)動(dòng)光纖移動(dòng)的光開(kāi)關(guān)

移動(dòng)其他部件的光開(kāi)關(guān)

4、MEMS光開(kāi)關(guān)的應(yīng)用

5．實(shí)戰(zhàn)部分
（1）基礎(chǔ)任務(wù)
a．搭建MEMS測(cè)試平臺(tái)
b．獲取、分析和顯示MEMS數(shù)據(jù)
（2）提高部分
a．旋轉(zhuǎn)檢測(cè)
b．單雙擊檢測(cè)
c．搖晃檢測(cè)
d．計(jì)步器設(shè)計(jì)
3．討論