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      聚焦離子束(FIB)技術(shù)在芯片設(shè)計(jì)及加工過程中的應(yīng)用
   入學(xué)要求

        學(xué)員學(xué)習(xí)本課程應(yīng)具備下列基礎(chǔ)知識(shí):
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       堅(jiān)持小班授課,為保證培訓(xùn)效果,增加互動(dòng)環(huán)節(jié),每期人數(shù)限3到5人。
   上課時(shí)間和地點(diǎn)
上課地點(diǎn):【上!浚和瑵(jì)大學(xué)(滬西)/新城金郡商務(wù)樓(11號(hào)線白銀路站) 【深圳分部】:電影大廈(地鐵一號(hào)線大劇院站)/深圳大學(xué)成教院 【北京分部】:北京中山/福鑫大樓 【南京分部】:金港大廈(和燕路) 【武漢分部】:佳源大廈(高新二路) 【成都分部】:領(lǐng)館區(qū)1號(hào)(中和大道) 【沈陽分部】:沈陽理工大學(xué)/六宅臻品 【鄭州分部】:鄭州大學(xué)/錦華大廈 【石家莊分部】:河北科技大學(xué)/瑞景大廈 【廣州分部】:廣糧大廈 【西安分部】:協(xié)同大廈
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FIB培訓(xùn)班:2025年12月15日..以質(zhì)量求發(fā)展....合作共贏....實(shí)用實(shí)戰(zhàn).....直播、現(xiàn)場培訓(xùn)皆可....用心服務(wù)..........--即將開課--...............................(歡迎您垂詢,視教育質(zhì)量為生命!)
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        1、培訓(xùn)過程中,如有部分內(nèi)容理解不透或消化不好,可免費(fèi)在以后培訓(xùn)班中重聽;
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        3、培訓(xùn)合格學(xué)員可享受免費(fèi)推薦就業(yè)機(jī)會(huì)。

        聚焦離子束(FIB)技術(shù)在芯片設(shè)計(jì)及加工過程中的應(yīng)用

FIB技術(shù)介紹

FIB(聚焦離子束)是將液態(tài)金屬(Ga)離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速,聚焦后照射于樣品表面產(chǎn)生二次電子信號(hào)取得電子像.此功能與SEM(掃描電子顯微鏡)相似,或用強(qiáng)電流離子束對表面原子進(jìn)行剝離,以完成微、納米級(jí)表面形貌加工.通常是以物理濺射的方式搭配化學(xué)氣體反應(yīng),有選擇性的剝除金屬,氧化硅層或沉積金屬層。

FIB技術(shù)的在芯片設(shè)計(jì)及加工過程中的應(yīng)用介紹

FIB應(yīng)用項(xiàng)目

?IC芯片電路修改

用FIB對芯片電路進(jìn)行物理修改可使芯片設(shè)計(jì)者對芯片問題處作針對性的測試,以便更快更準(zhǔn)確的驗(yàn)證設(shè)計(jì)方案。?若芯片部份區(qū)域有問題,可通過FIB對此區(qū)域隔離或改正此區(qū)域功能,以便找到問題的癥結(jié)。
???? FIB還能在終產(chǎn)品量產(chǎn)之前提供部分樣片和工程片,利用這些樣片能加速終端產(chǎn)品的上市時(shí)間。利用FIB修改芯片可以減少不成功的設(shè)計(jì)方案修改次數(shù),縮短研發(fā)時(shí)間和周期。

?Cross-Section?截面分析

????用FIB在IC芯片特定位置作截面斷層,以便觀測材料的截面結(jié)構(gòu)與材質(zhì),定點(diǎn)分析芯片結(jié)構(gòu)缺陷。

?Probing??Pad

????在復(fù)雜IC線路中任意位置引出測試點(diǎn),?以便進(jìn)一步使用探針臺(tái)(Probe-?station)?或?E-beam?直接觀測IC內(nèi)部信號(hào)。

?FIB透射電鏡樣品制備

????這一技術(shù)的特點(diǎn)是從納米或微米尺度的試樣中直接切取可供透射電鏡或高分辨電鏡研究的薄膜。試樣可以為IC芯片、納米材料、顆;虮砻娓男院蟮陌差w粒,對于纖維狀試樣,既可以切取橫切面薄膜也可以切取縱切面薄膜。對含有界面的試樣或納米多層膜,該技術(shù)可以制備研究界面結(jié)構(gòu)的透射電鏡試樣。技術(shù)的另一重要特點(diǎn)是對原始組織損傷很小。

關(guān)鍵應(yīng)用技術(shù)

?微觀尺寸IC?芯片修改以糾正設(shè)計(jì)錯(cuò)誤?

?更正銅線工藝及鋁線工藝的連線錯(cuò)誤?

?分離芯片不同模塊以便糾錯(cuò)?

?連接額外電阻,電容調(diào)試優(yōu)化芯片功能?

?增加探測觸點(diǎn),以便分析出錯(cuò)原因

?材料及器件失效分析?

?掃描電鏡和透射電鏡樣品制備?

?材料和器件截面及截面二次電子像

關(guān)鍵FIB服務(wù)技術(shù)

?系統(tǒng)維修?

?技術(shù)改進(jìn)和升級(jí)換代

?系統(tǒng)耗材和升級(jí)配件

?系統(tǒng)性能評估

?應(yīng)用研發(fā)

?FIB用戶培訓(xùn)

相關(guān)配套設(shè)備

面向?qū)ο?/strong>

?針對應(yīng)用產(chǎn)業(yè):IC集成電路產(chǎn)業(yè)

?建議參加單位:IC芯片設(shè)計(jì)企業(yè),具有IC研發(fā)項(xiàng)目的各大科研院校等

建議參加人員:芯片研發(fā)技術(shù)總監(jiān),芯片產(chǎn)品經(jīng)理,IC芯片設(shè)計(jì)工程師,失效及可靠性分析工程師等

 
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上?偛颗嘤(xùn)基地

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(地鐵昌平線沙河站B出口) 郵編:102200 行走路線:請點(diǎn)擊這查看!
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.(2014年7月11).................................................................................Python培訓(xùn)課程 AMESIM模擬分析培訓(xùn) 歐姆龍PLC培訓(xùn)課程 CAE模擬分析培訓(xùn)課程 機(jī)械應(yīng)力模擬分析培訓(xùn) 集成電路培訓(xùn) 有限元模擬分析培訓(xùn) Abaqus模擬分析培訓(xùn) Simulink建模仿真培訓(xùn) Ansys Workbench模擬培訓(xùn) FPGA課程 Labview培訓(xùn)課程 R語言醫(yī)藥培訓(xùn)課程 機(jī)器視覺培訓(xùn) PLC培訓(xùn)課程 Vision Pro培訓(xùn)課程 信號(hào)采集分析培訓(xùn) 集成電路設(shè)計(jì)培訓(xùn) 散熱模擬分析培訓(xùn) Abaqus模擬培訓(xùn) Matlab建模仿真培訓(xùn) Ansys Workbench模擬培訓(xùn) R語言大數(shù)據(jù)分析培訓(xùn)課程 工業(yè)機(jī)器人分析培訓(xùn) 生產(chǎn)線模擬分析培訓(xùn)課程 運(yùn)動(dòng)控制培訓(xùn) PLC培訓(xùn)課程 APD SiP培訓(xùn)課程 電機(jī)控制培訓(xùn) 集成電路培訓(xùn) 散熱模擬分析培訓(xùn) 數(shù)字電源培訓(xùn) Matlab數(shù)學(xué)建模仿真培訓(xùn) Ansys Workbench模擬培訓(xùn) R語言培訓(xùn)課程 數(shù)字逆變器設(shè)計(jì)培訓(xùn) R語言神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)培訓(xùn)課程 AMESIM模擬分析培訓(xùn) PLC培訓(xùn)課程 APD SiP培訓(xùn)課程 工業(yè)設(shè)計(jì)模擬分析培訓(xùn) 集成電路培訓(xùn) 散熱模擬分析培訓(xùn) Abaqus熱處理模擬培訓(xùn) Matlab建模仿真培訓(xùn) Ansys Workbench模擬培訓(xùn) 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